目前世界上高纯含氟化学试剂的主要产品有：电子级氢氟酸（HF）、电子级氟化氢铵（NH4HF2）、缓冲氧化蚀刻剂（BOE）。
由电子级氢氟酸（HF）、电子级NH4F等按一定比例制备而成。我国目前仅有电子级氢氟酸的工业化生产，主要生产企业以浙江凯圣氟化工有限公司旗下巨化集团、浙江蓝苏为代表的10余家企业，每年生产能力5-600万升；产品质量一般都在EL级，只有2~3级可达UP级，甚至UP-S级。
超纯高纯试剂主要用作太阳能、半导体、IC、液晶屏等行业的清洗剂、蚀刻剂，是生产过程中关键的基础化工材料之一。其使用特点与含氟电子气相似，用量小，质量要求高。为了能够规范世界电子化学品标准，国际半导体设备和材料协会（SemiconductorEquipmentandMaterialsInternational，简称SEMI）于1975年成立了SEMI化学试剂标准化委员会，专门制定和标准化国际标准电子化学品。